Buisoven met acht zones - AZ

De AZ is een buisoven met acht zones voor gecontroleerde temperatuurprofielen. Deze zones kunnen worden gebruikt om temperatuursprofielen te genereren langs de verwarmde lengte van de oven.

Met acht zones, dikke isolatie en zeer symmetrische wikkeling van de verwarmingselementen door de hele AZ-oven wordt een uniformiteit van beter dan ± 5 ° C bereikt. Een belangrijk voordeel van de acht individueel aangestuurde zones is de verlenging van de uniforme lengte in de oven. Bovendien kan het temperatuursprofiel nauwkeurig worden geregeld voor lineaire stijgingen, pieken of andere door de gebruiker gedefinieerde profielen.

Een proces dat goed geschikt is voor de AZ-buisoven is chemische dampafzetting, aangezien een temperatuurgradiënt kan worden ingesteld in de oven voor verdamping van voorlopermateriaal bij de hoge temperatuur eindzone en sublimatie van de damp op het substraat bij de koelere temperatuur eindzone. Alle zones worden individueel aangestuurd en bewaakt met thermokoppels.

Standaard functies

• Vergelijkbare constructie als FHA / FHC buisovens
• Regeling met acht zones voor variabele verwarmingsprofielen
• Gradiënten, lineaire verhoging/verlaging enz. van de temperatuur over de verwarmde lengte
• Uitgebreide uniforme temperatuursverdeling
• Korte opwarm- en afkoeltijden
• Automatische werking
• Data registratie voor kwaliteitsbeheer
• Re-transmissie van setpoint

Opties (te specifiëren bij bestelling)

• Geavanceerde digitale controllers, zoals controllers met multi-segment programma's en datalogging. Optionele RS232, RS485 of Ethernet communicatie zijn beschikbaar - meer informatie
• Overtemperatuurbeveiliging (aanbevolen om waardevolle inhoud te beschermen & voor onbewaakte werking)
• Uitgebreide keuze aan buisdiameters en materialen verkrijgbaar: bvb. kwarts, keramiek, metaal
• 'L' stand for vertical usage
• Isolatie-plugs & hitte stralingsschilden om warmteverlies tegen te gaan & de uniformiteit te verbeteren
• Pakketten voor gemodificeerde atmosfeer en vacuüm beschikbaar - Meer informatie
• Vacuümpakketten met keuze tussen verschillende vacuümpompen (turbomoleculaire pomp, compressor pomp)
• Volledige automatisering door Siemens SPS besturing met aanraakscherm en mass flow regelaar voor de gassen op aanvraag
• Andere diameters en verwarmde lengtes op aanvraag

Bekijk de binnenkant

1. keramische vezelisolatie
2. buitenframe
3. acht thermokoppels voor regeling
4. bruikbaar volume

De keramische vezelisolatie is opgebouwd uit meerdere lagen en met grote zorg geassembleerd om ervoor te zorgen dat er geen openingen zijn tussen elk van de lagen. De isolatielagen zijn gerangschikt met een specifieke overlapping om een uitstekende temperatuuruniformiteit binnen de oven te verschaffen.

De besturingsmodule is zeer compact en ingebouwd in het steunframe van de oven. Een interface met aanraakscherm biedt gebruiksvriendelijke en intuïtieve bediening van de bedrijfsparameters van de oven.

Waterkoeling is niet nodig, aangezien de behuizing op een zodanige afstand van de isolatie is geplaatst dat deze door convectieve koeling wordt gekoeld. De enige gevallen waarin waterkoeling nodig is, zijn voor gebruik met gekoelde werkbuisflenzen, d.w.z. om een vacuümpompunit te monteren.